高精度气体分析设备国产化待加速

12月18日，在中国工业气体工业协会（下称气体协会）第三十五次会员大会暨“邯郸·中国气谷三年行动计划”发布会的气体分析论坛环节，多位专家认为，当前我国气体分析行业发展迅速，对气体分析设备的精度和分析标准化提出更高要求，行业期待尽快实现设备自主化。

高纯气体是电子制造中的关键基础材料，随着我国半导体市场的逐步扩张，高纯气体的需求连年大幅增长，对产品品种和纯度的要求也“水涨船高”。近年来，国内气体企业中船特气、华特气体、南大光电等通过技术突破，在磷烷、砷烷、六氟化钨等细分领域实现国产替代，2025年相关产品的国产化率有望提升至25%。

但与会专家也指出，相较于高纯气体产品的生产，高纯气体分析领域的设备国产化仍有待推进。

中船（邯郸）派瑞特种气体公司质量部部长郑秋艳预测，未来的气体分析检测精度将从ppb级向ppt级甚至亚ppt级突破，逐渐普及的便携式、在线式检测设备也将实现对气体的实时与连续检测，这对气体分析设备的性能提出了更高要求。

目前，为满足市场对精密制造、半导体、航天航空等领域高纯气体杂质浓度准确定量的需求，多家科研院所正在探索用于检测ppm～ppb级痕量杂质气体浓度的高纯气体分析仪国产化。据北京航天计量测试技术研究所副主任卜芳介绍，其团队正聚焦于相关设备的国产化替代项目，目前被美国垄断的仪器整机核心部件——脉冲放电离子化检测器已完成小批量研制，产品装配和合格率达到95%以上，部分设备也已在军工、航天等领域完成应用测试。

此外，与气体分析设备相配套的国家标准也正在快速更新和完善。中国测试技术研究院化学研究所主任周鑫表示，为适应气体分析领域快速发展的需求，研究所在标准物质领域制定修改了多项国内标准，包括质子交换膜、氢气燃料质量分析方法标准化等。